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나노 규모에서의 화학 이미징

고급 깊이 프로파일링 및 이차 이온 이미징을 위해 상용 FIB-SEM 현미경에 FIB-SIMS 기능을 통합합니다.

민감한 3D
화학 이미징

FIB-SIMS 기능을 FIB-SEM 현미경에 통합한 fibTOF는 나노미터 단위의 정밀한 3차원 화학 이미징을 제공합니다.

  • 원소 및 동위원소 3D 이미징 수소, 리튬, 붕소, 불소와 같은 저질량 원소를 포함한 대부분의 원소에 대해 고감도로 측정할 수 있습니다.
  • 달성 가능한 공간 해상도 측면 50nm 미만, 깊이 10nm 미만입니다.
  • 명확한 요소 식별 높은 질량 분해능을 제공합니다.
  • 주요 현미경 브랜드와 호환 이미지 품질을 저하시키지 않습니다.
  • 향상된 데이터 수집 를 사용하면 측정 시간이 단축되고 밀링 속도가 빨라져 처리량이 증가합니다.
  • 통합 제어 소프트웨어 는 전반적으로 업데이트된 사용자 경험을 제공합니다.
fit4nano

fibTOF 팀은 다음과 같이 자랑스럽게 생각합니다. fit4nano 커뮤니티. 이 그룹은 학계와 업계의 파트너들이 모여 집속 이온 빔(FIB) 기술의 개발과 적용을 발전시키기 위해 모였습니다.

fibTOF 레이어 그래픽

3D 화학 이미징

NMC622 리튬 이온 배터리 셀의 흑연 음극 구성인 고체 전해질 인터페이스(SEI)의 3D FIB-SIMS 이미징. 더 나은 시각화를 위해 수직 축척이 과장되었습니다. 시야는 30×30미크론입니다. 이 사례 연구는 고전류 이온 전류를 사용하여 수행되었으며, fibTOF가 고전류 신호를 효과적으로 처리하는 방법을 보여주고 이 측정 기술의 유리한 응용 분야를 강조합니다.

fibTOF 기초 웨비나

FIB-SEM 연구에 새로운 기능 제공

주요 상용 FIB-SEM 현미경과 호환 가능

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